准确成像, 无交叉耦合现象

XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

很低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

优化的水平扫描器ringing现象, 正向sine-scan算法

准确扫描，真正的非接触模式

垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec

在非接触模式下很快的扫描速度

极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

极低的样品损伤

乐发vll500  

准确测量，真正的样品形貌

采用低噪声迟滞检测器测量样品形貌

极小正反测量偏离量，小于0.15%

采用散热部件，很大地降低了系统热漂移和迟滞现象

功能强大的隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率

开放式的设计，方便更换探针和样品

探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有自上至下的直观观察系统

“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能

技术参数

XY扫描器

闭环控制式单模块柔性XY扫描器

扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)

分辨率: 0.05 nm

定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)

水平线性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z扫描器

柔性引导高力度扫描器

扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)

分辨率: 0.015 nm

定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统

可观察样品和探针的直视同轴光学系统

视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物镜

10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)

20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm分辨率)

乐发vll500  

信号处理

ADC: 18个通道
 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs

DAC: 12 信道
 2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs

*大数据大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

3个通道数字锁相放大器

热噪声法标定弹性系数

数码Q控制

外部信号介入

20个嵌入式信号输入/输出端口

5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias